FEMAG是一款晶體生長多物理場仿真軟件，擁有晶體生長工藝模擬技術(shù)和多物理場耦合仿真分析功能，可模擬各種晶體生長工藝，在半導(dǎo)體芯片、太陽能光伏、化合物半導(dǎo)體和人工晶體、單晶高溫合金等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。

一、FEMAG軟件優(yōu)勢

1、模型先進，算法效率高，求解精度高

通過建立先進的、考慮多種耦合效應(yīng)的傳熱、湍流等全局有限元模型（準穩(wěn)態(tài)模型、逆向動態(tài)、直接動態(tài)模型），基于非結(jié)構(gòu)化網(wǎng)格而開發(fā)的Navier-Stokes求解器，結(jié)合Newton-Raphson迭代法，可以準確地求解晶體生長過程中的多尺度復(fù)雜問題。

2、爐體設(shè)計技術(shù)成熟，優(yōu)化生長過程效率高、方便

可以對復(fù)雜的軸對稱/非軸對稱熱場進行全局模擬，提供用以預(yù)測復(fù)雜系統(tǒng)中物理變量的信息，從而幫助用戶有效預(yù)測、控制晶體中的缺陷以及形狀，改善、優(yōu)化晶體生長爐內(nèi)全局熱場溫度分布與晶體生長中特有的工藝參數(shù)，優(yōu)化晶體生長的工藝過程與質(zhì)量，滿足對生產(chǎn)質(zhì)量高、低成本、高使用壽命晶體的實際需求。

3、具有區(qū)熔法生長工藝仿真分析功能

具有豐富、全方面的分析功能，可以用于分析、優(yōu)化不同的晶體生長工藝過程，有效地全局模擬分析復(fù)雜的2D/3D多場耦合問題；具有區(qū)熔法生長工藝仿真分析功能的晶體生長數(shù)值模擬軟件。

二、產(chǎn)品模塊  

? FEMAG/CZ 提拉法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/CZ/OX 化合物提拉/泡生法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/FZ 區(qū)熔法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/DS 定向凝固法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/VB VB/VGF法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/HEM 熱交換法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/PVT 物理氣相傳輸法晶體生長仿真模塊

? FEMAG/TMF 外加磁場功能模塊

三、功能特點

? 爐內(nèi)溫度分布計算

? 多組加熱器布置、加熱器功率預(yù)測

? 溫度控制點設(shè)置

? 凝固界面形狀預(yù)測與溫度梯度分布計算

? 爐內(nèi)全局熱通量計算

? 全方面的熔體、氣體流動模型

? 摻雜物濃度分布預(yù)測

? 熱應(yīng)力計算

? 點缺陷與微缺陷濃度預(yù)測

? 可與TMF模塊耦合建立多種外加磁場

? 多種求解模式適應(yīng)不同的計算需求

四、應(yīng)用領(lǐng)域

? 光學級單晶鍺的生長

? 晶體生長熔爐的設(shè)計

? YAG功能晶體的生長

? GaAs、CdTe晶體的生長

? 半導(dǎo)體、集成電路級單晶硅的生長

? 第三代半導(dǎo)體材料SiC晶體的生長

? 太陽能光伏單晶硅、多晶硅錠的生長

? 航空發(fā)動機渦輪葉片單晶高溫合金的生長

? 氧化物（藍寶石）、鹵化物等LED光電晶體的生長